非接觸(chu)式高精度激光(guang)測(ce)振(zhen)儀可以通(tong)過顯(xian)微(wei)(wei)光(guang)學系統實現對微(wei)(wei)小物體的振(zhen)動測(ce)量(liang)(liang)，可以精確測(ce)量(liang)(liang)MEMS等微(wei)(wei)小結構(gou)元器件的振(zhen)動和形貌，激光(guang)光(guang)斑達微(wei)(wei)米量(liang)(liang)級，并可通(tong)過顯(xian)微(wei)(wei)成像系統實時觀(guan)察物體的振(zhen)動狀態(tai)（頻率、速度、加速度、位移(yi)）等多維(wei)信息(xi)。
非接(jie)觸(chu)式測(ce)(ce)振(zhen)(zhen)儀是一(yi)款全新的(de)集多功能于一(yi)身的(de)非接(jie)觸(chu)式振(zhen)(zhen)動測(ce)(ce)量(liang)儀器(qi)，也是一(yi)款可(ke)視化顯微測(ce)(ce)量(liang)分析的(de)理想工具。
非接(jie)觸(chu)式單點(dian)激光(guang)測振儀是(shi)一款(kuan)全(quan)新的(de)集(ji)多(duo)功能(neng)于一身的(de)非接(jie)觸(chu)式振動測量(liang)(liang)儀器，也是(shi)一款(kuan)可(ke)視化顯(xian)微(wei)(wei)測量(liang)(liang)分(fen)析的(de)理想工具。它可(ke)以通過(guo)顯(xian)微(wei)(wei)光(guang)學(xue)系(xi)統實(shi)現對微(wei)(wei)小物(wu)體的(de)振動測量(liang)(liang)，可(ke)以精確測量(liang)(liang)MEMS等(deng)(deng)微(wei)(wei)小結構(gou)元器件的(de)振動和形貌，激光(guang)光(guang)斑達微(wei)(wei)米量(liang)(liang)級，并(bing)可(ke)通過(guo)顯(xian)微(wei)(wei)成像(xiang)系(xi)統實(shi)時觀(guan)察物(wu)體的(de)振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等(deng)(deng)多(duo)維信息。
高(gao)精(jing)度激光(guang)(guang)測振儀可(ke)以(yi)(yi)通過顯微(wei)(wei)(wei)光(guang)(guang)學(xue)系統實現對微(wei)(wei)(wei)小(xiao)物體的振動(dong)(dong)(dong)測量(liang)(liang)，可(ke)以(yi)(yi)精(jing)確測量(liang)(liang)MEMS等(deng)微(wei)(wei)(wei)小(xiao)結(jie)構元器件的振動(dong)(dong)(dong)和形貌，激光(guang)(guang)光(guang)(guang)斑達微(wei)(wei)(wei)米量(liang)(liang)級，并可(ke)通過顯微(wei)(wei)(wei)成像系統實時(shi)觀察物體的振動(dong)(dong)(dong)狀(zhuang)態（頻(pin)率、速度、加速度、位(wei)移）等(deng)多維信息(xi)。
非接觸式激光(guang)測振儀是一(yi)款全新的(de)集多功能于(yu)一(yi)身的(de)非接觸式振動(dong)(dong)測量(liang)(liang)儀器，也是一(yi)款可視化顯微(wei)測量(liang)(liang)分析的(de)理(li)想工具。它(ta)可以通(tong)過顯微(wei)光(guang)學(xue)系統實現(xian)對微(wei)小物(wu)體的(de)振動(dong)(dong)測量(liang)(liang)，可以精(jing)確測量(liang)(liang)MEMS等微(wei)小結構元(yuan)器件的(de)振動(dong)(dong)和形貌，激光(guang)光(guang)斑達微(wei)米量(liang)(liang)級，并(bing)可通(tong)過顯微(wei)成像系統實時(shi)觀(guan)察(cha)物(wu)體的(de)振動(dong)(dong)狀態（頻率、速度(du)、加速度(du)、位(wei)移(yi)）等多維(wei)信(xin)息(xi)。
